Produkto apžvalga
Individualūs titano purškimo taikiniai yra didelio{0}}grynumo šaltinio fizinio nusodinimo garais (PVD) sistemoms. Šie objektai, sukurti puslaidininkių, optinių ir nusidėvėjimui atsparių dangų taikymui, yra apdorojami vakuuminio indukcinio lydymo arba miltelinio metalurgijos būdu, o po to apdorojami daugialypiu termo{4}}mechaniniu būdu, kad būtų sudarytos smulkios, lygiagrečios grūdėtos struktūros. Galimos plokštumos (stačiakampės, apskritos) ir pasukamos konfigūracijos, suderintos su vario arba aliuminio atraminėmis plokštėmis per metalinį sujungimą.
Techninės specifikacijos
|
Parametras |
Specifikacijų diapazonas |
Bandymo metodas ir vaizdinė nuoroda |
|
Medžiagos grynumas |
99,9 % (3N) iki 99,995 % (4N5) |
GDMS (švytėjimo išlydžio masės spektrometrija) • Peržiūrėkite GDMS testo sertifikato pavyzdį: [Atsisiųsti PDF / peržiūrėti ataskaitą] |
|
Tankis |
>= 4.50 g/cm^3 (>99,5 % teorinių) |
Archimedo panardinimo metodas |
|
Vidutinis grūdų dydis |
< 100 um (customizable to < 50 um) |
EBSD / Metalografinis mikroskopas • Peržiūrėkite mikroskopinį grūdelių struktūros vaizdą: [Patikrinti SEM mikrografiją] |
|
Matmenys |
Skersmuo iki 400 mm (plokštuminis); Ilgis iki 3500 mm (sukamas) |
CMM lazerinis skaitytuvas |
|
Atraminė plokštė |
OFHC varis, 2 klasės titanas, aliuminio lydiniai |
Ultragarsinis jungties tuštumų santykio tyrimas |
|
Klijavimo vientisumas |
>95% klijavimo srities padengimas |
Ultragarsinis C{0}}nuskaitymas • Peržiūrėkite C-nuskaitymo defektų žemėlapį: [Patikrinti ultragarsinį nuskaitymą] |
Pagrindinės savybės
Vienoda mikrostruktūra:Valdomi termomechaniniai maršrutai pašalina lokalizuotas kietas vietas, sumažina lanko ir dalelių susidarymą didelės-galios nuolatinės srovės arba radijo dažnių purškimo metu.
Mažos dujų priemaišos:Intersticiniai elementai (deguonis, azotas, anglis, vandenilis) griežtai kontroliuojami žemiau 500 ppm, kad būtų išvengta plėvelės trapumo ir elektrinės varžos šuolių.
Patikima šiluminė sąsaja:Indžio, elastomero arba sidabro-epoksidinis sujungimas užtikrina aukštą šilumos laidumą, neleidžia taikiniams deformuotis ir įtrūkti esant dideliam šilumos srautui.
Tikslios apdirbimo tolerancijos:CNC frezavimas užtikrina griežtus plokštumo nuokrypius (+/- 0.05 mm) ir patikimą katodo montavimą.
Programos
Puslaidininkiai ir mikroelektronika:Užtvarinių sluoksnių, kontaktinių metalų ir sujungimo sėklų PVD nusodinimas ant silicio plokštelių.
Optinės dangos:Anti-atspindinčios (AR) dangos, filtrų sluoksniai ir architektūrinis mažo-E stiklo nusodinimas naudojant magnetroninį purškimą.
Atsparus dėvėjimui-ir dekoratyvinis:TiN, TiAlN ir TiCN kietos dangos pjovimo įrankiams, medicininiams implantams ir buitinės elektronikos įrangai.
Tyrimai ir plėtra:Individualizuotos lydinių kompozicijos ir pritaikyti grūdelių dydžiai universitetų ir įmonių plonasluoksnėms{0}}laboratorijoms.
Pritaikymas ir gamyba
Taikiniai kuriami tiesiai iš kliento CAD failų ir konkrečių kamerų geometrijų.
Lydymas ir formavimas:Vakuuminis indukcinis lydymas (VIM) suporuotas su vakuuminiu lankiniu perlydymu (VAR) užtikrina mažą segregaciją. Vėlesnis karštas kalimas ir valcavimas suyra kaip -lieti dendritai.
Apdirbimo galimybės:Kelių-ašių CNC frezavimas, tekinimo staklės ir vielos EDM apdoroja sudėtingas geometrijas, srieginius aušinimo kanalus ir specifinius kraštų nuožulnius.
Atraminės plokštės integravimas:Namų klijavimo įrenginiuose naudojama vakuuminio litavimo ir presavimo įranga, skirta tikslinėms plytelėms sujungti su vario arba aliuminio pagrindo vamzdeliais, patikrinta atliekant ardomuosius šlyties bandymus ir nuskaitant ultragarsu.
Kokybės kontrolė ir sertifikatai
Kiekviena produkcijos partija prieš pakavimą yra kruopščiai patikrinama.
Analitinis bandymas:GDMS analizės ataskaitos pateikiamos su kiekviena partija, kad būtų galima patikrinti metalų ir tarpinių priemaišų lygius.
Neardomasis bandymas (NDT):100 % ultragarso C-skenavimo patikrinimas suklijuotuose mazguose aptinka vidinį sluoksniuotumą arba ertmes iki 2 mm skersmens.
Matmenų patikrinimas:Lazerinė CMM patikra registruoja kritinius montavimo matmenis ir paviršiaus lygumą.
Standartų laikymasis:Pagaminta pagal ISO 9001:2015 kokybės vadybos sistemas.
Pakavimas ir pristatymas
Vakuuminis sandarinimas:Taikiniai valomi, džiovinami ir hermetiškai uždaromi anti-statiniuose vakuuminiuose maišuose 10 000 klasės švarioje patalpoje.
Apsauginė amortizacija:Supakuota į pritaikytą -formuotą didelio- tankio polietileno (DTPE) putas ir tvirtas medines dėžes, kad būtų išvengta paviršiaus įbrėžimų, kraštų įskilimų ir transportavimo smūgio.
Siuntimo dokumentacija:Kiekviena siunta apima analizės sertifikatą (COA), medžiagų saugos duomenų lapą (MSDS) ir matmenų patikrinimo ataskaitą.
DUK
K: Koks yra didžiausias titano purškimo taikinių grynumas?
A: Standartinė gamyba pasiekia 99,995% (4N5) grynumo. Tam tikroms puslaidininkių klasėms taikomas kontroliuojamas dujų mažinimas, kad deguonies lygis būtų mažesnis nei 300 ppm.
Kl.: kaip išvengti lanko susidarymo didelės galios{0}}purškimo metu?
A: Lanko susidarymas sumažinamas išlaikant smulkų, vienodą grūdelių dydį (< 100 um) and low interstitial gas content. This eliminates localized density variations and inclusion sites that cause plasma discharge instability.
Kl .: koks yra standartinis tinkintų matmenų apdorojimo laikas?
A: Standartiniai plokštieji taikiniai pristatomi per 2–3 savaites. Pasirinktiniai pasukami taikiniai arba mazgai, kuriems reikalingos specialios atraminės plokštės ir klijavimas, paprastai užtrunka nuo 4 iki 6 savaičių.
Kl.: Ar galite pateikti taikinių, iš anksto{0}}priklijuotų prie varinių pagrindo plokščių?
A: Yes. Copper, aluminum, and titanium backing plates are integrated using Indium solder or elastomer bonding, verified by ultrasonic C-scan testing for >95% obligacijų padengimas.
K: Kokie duomenys yra įtraukti į medžiagų bandymo ataskaitą (MTR)?
A: Kiekviena siunta apima GDMS cheminių priemaišų analizę, tankio matavimus, grūdelių dydžio pasiskirstymo duomenis ir ultragarsinio sujungimo tikrinimo žemėlapius.
Kl.: ar pasirašote neatskleidimo{0} sutartis (NDA) dėl patentuotų tikslinių dizainų?
A: Taip. Pasirinktiniai brėžiniai, patentuoti lydinio santykiai ir specifiniai katodų sąsajos dizainai yra apsaugoti pagal standartines įmonės NDA prieš atliekant techninę peržiūrą.
Prašyti kainos pasiūlymo
Pateikite savo tikslinius matmenis, grynumo laipsnį, kiekį ir atraminės plokštės reikalavimus, kad per 24 valandas gautumėte oficialų techninį pasiūlymą ir pristatymo laiko sąmatą.
[Pateikti RFQ / įkelti brėžinius]
Populiarus Žymos: pasirinktiniai titano purškimo taikiniai, Kinijos pasirinktiniai titano purškimo taikiniai gamintojai, tiekėjai, gamykla